O sensor de frente de onda UV BOJIONG 200-450 nm integra tecnologia patenteada de difração de quatro ondas de codificação aleatória com uma câmera ultravioleta para realizar interferência no plano de imagem traseiro, necessitando de baixa coerência da fonte de luz e eliminando a necessidade de mudança de fase. Utilizando o sistema de imagem ultravioleta, este sensor permite a medição da frente de onda em tempo real com excepcional resistência e estabilidade à vibração, alcançando precisão de nível nanométrico sem a necessidade de isolamento de vibração.
Nome do produto |
Sensor de frente de onda UV 200-450 nm |
Faixa de comprimento de onda |
200nm~450nm |
Tamanho alvo |
13,3 mm × 13,3 mm |
Resolução espacial |
26μm |
Resolução de amostragem |
512×512(262144 pixels) |
Resolução de fase |
<2nmRMS |
Precisão absoluta |
10nmRMS |
Faixa dinâmica |
90μm(256min) |
Taxa de amostragem |
32 fps |
Velocidade de processamento em tempo real |
10 Hz (resolução total) |
Tipo de interface |
USB3.0 |
Dimensão |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
Peso |
cerca de 240g |
◆ Espectro UV banda de 200 nm ~ 450 nm
◆Resolução ultra-alta de 512×512 (262144) pontos de fase
◆Autointerferência de luz de canal único, sem necessidade de luz de referência
◆2nm RMS de alta resolução de fase
◆Desempenho antivibração extremamente forte, sem necessidade de isolamento óptico de vibração
◆ Assim como a imagem, construção de caminho óptico fácil e rápida
◆ Suporta feixes colimados e feixes não colimados de alto NA
Este sensor interferométrico ultravioleta de quatro ondas BOJIONG é usado para medição de aberração de sistema óptico, calibração de sistema óptico, medição de formato de superfície plana (wafer), medição de formato de superfície esférica óptica, etc.
Detecção de frente de onda por feixe de laser |
Resposta de detecção de frente de onda do modo Zernike de óptica adaptativa |
Exemplo de medição de aberração de sistema óptico |
Exemplos de medição de calibração de sistema óptico |
Exemplo de medição de rugosidade superficial de wafer |
Medição de morfologia de microgravação - amostra de defeito 1 # -114 linhas |
O sensor de frente de onda UV BOJIONG 200-450 nm, desenvolvido por uma equipe de professores da Universidade de Zhejiang e da Universidade Tecnológica de Nanyang em Cingapura, utiliza tecnologia nacional patenteada que combina difração e interferência para obter interferência de cisalhamento transversal de quatro ondas. Este sensor possui excelente sensibilidade de detecção e desempenho antivibração, permitindo interferometria dinâmica em tempo real e de alta velocidade sem a necessidade de isolamento de vibração, com uma taxa de quadros de mais de 10 quadros por segundo. O sensor FIS4 oferece resolução de fase ultra-alta de 512×512 (260.000 pontos de fase), com uma faixa de medição que vai de 200nm a 15μm, uma sensibilidade de medição de 2nm e uma repetibilidade de medição melhor que 1/1000λ (RMS). É aplicável para análise de qualidade de feixe de laser, detecção de campo de fluxo de plasma, medição em tempo real de distribuição de campo de fluxo de alta velocidade, avaliação de qualidade de imagem de sistemas ópticos, medição de perfil microscópico e imagem quantitativa de fase de células biológicas.
Endereço
Nº 578 Yingkou Road, distrito de Yangpu, Xangai, China
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