O Sensor Ultravioleta Wavefront, apresentando uma alta resolução de fase de 2NM RMS e resistência à vibração extremamente forte. Possui também resolução de 512×512 pixels (262.144 pontos de fase), capaz de realizar medições de interferência no plano focal traseiro. A tecnologia exige que a fonte de luz tenha baixa coerência e elimina a necessidade de mudança de fase. Com o sistema de imagem ultravioleta, o dispositivo é capaz de medir a frente de onda em tempo real.
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Nome do Produto |
Sensor ultravioleta de frente de onda |
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Faixa de comprimento de onda |
200nm~450nm |
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Tamanho alvo |
13,3 mm × 13,3 mm |
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Resolução espacial |
26μm |
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Resolução de amostragem |
512×512（262144 pixels） |
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Resolução de fase |
<2nmRMS |
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Precisão absoluta |
10nmRMS |
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Faixa dinâmica |
90μm（256min） |
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Taxa de amostragem |
32 fps |
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Velocidade de processamento em tempo real |
10 Hz (resolução total) |
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Tipo de interface |
USB3.0 |
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Dimensão |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
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Peso |
cerca de 240g |
◆ Espectro UV banda de 200 nm ~ 450 nm
◆Resolução ultra-alta de 512×512 (262144) pontos de fase
◆Autointerferência de luz de canal único, sem necessidade de luz de referência
◆2nm RMS de alta resolução de fase
◆ Assim como a imagem, construção de caminho óptico fácil e rápida
◆ Suporta feixes colimados e feixes não colimados de alto NA
◆Desempenho antivibração extremamente forte, sem necessidade de isolamento óptico de vibração
Este sensor ultravioleta de frente de onda BOJIONG é usado para medição de aberração de sistema óptico, calibração de sistema óptico, medição de formato de superfície plana (wafer), medição de formato de superfície óptica esférica, etc.
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Detecção de frente de onda por feixe de laser |
Resposta de detecção de frente de onda do modo Zernike de óptica adaptativa |
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Exemplo de medição de aberração de sistema óptico
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Exemplos de medição de calibração de sistema óptico
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Exemplo de medição de rugosidade superficial de wafer
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Medição de morfologia de microgravação - amostra de defeito 1 # -114 linhas |
Sensor ultravioleta wavefront BOJIONG desenvolvido por uma equipe de professores da Universidade de Zhejiang e da Universidade Tecnológica de Nanyang de Cingapura, com tecnologia patenteada nacional, combina difração e interferência para obter uma interferência de cisalhamento transversal comum de quatro ondas, com sensibilidade de detecção superior e desempenho antivibração , e pode realizar interferometria dinâmica em tempo real e de alta velocidade sem isolamento de vibração. A medição em tempo real mostra uma taxa de quadros superior a 10 quadros. Ao mesmo tempo, o sensor FIS4 tem uma resolução de fase ultra-alta de 512×512 (260.000 pontos de fase), a banda de medição cobre 200nm ~ 15μm, a sensibilidade de medição atinge 2nm e a repetibilidade da medição é melhor que 1/1000λ ( RMS). Ele pode ser usado para análise de qualidade de feixe de laser, detecção de campo de fluxo de plasma, medição em tempo real de distribuição de campo de fluxo de alta velocidade, avaliação de qualidade de imagem de sistema óptico, medição de perfil microscópico e imagem quantitativa de fase de células biológicas.
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Parâmetros técnicos FIS4 de cada série de produtos |
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produtos |
FIS4-UV |
FIS4-RH |
RELÓGIO FIS4 |
FIS4-HS |
Célula FIS4 |
FIS4-NIR |
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Faixa de comprimento de onda |
200~450nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
900 ~ 1200 nm |
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Tamanho alvo mm2 |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
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Resolução espacial |
26μm |
23,6μm |
26μm |
24,4μm |
23,6μm |
26μm |
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Pixel da imagem |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
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Resolução de saída de fase |
512×512 （262144 pixels） |
300×300（90000 pixels） |
512×512（262144 pixels） |
420×420（176400 pixels） |
300×300（90000 pixels） |
512×512（262144 pixels） |
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Resolução de fase |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
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Precisão absoluta |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
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Faixa dinâmica |
90μm （256min） |
110μm （150min） |
162μm （256min） |
132μm （210min） |
110μm （150min） |
270μm （256min） |
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Taxa de amostragem |
32 fps |
24 fps |
45 fps |
107 fps |
24 fps |
45 fps |
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Velocidade de processamento em tempo real |
10 Hz (Resolução total) |
10 Hz (Resolução total) |
10 Hz (Resolução total) |
10 Hz (Resolução total) Suporta processamento em lote atrasado |
10 Hz (Resolução total) |
10 Hz (Resolução total) |
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Tipo de interface |
USB3.0 |
CORTAR |
USB3.0 |
CORTAR |
CORTAR |
USB3.0 |
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Interface externa |
- |
- |
- |
- |
Porta C |
- |
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Tamanho mm2 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
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peso |
cerca de 240g |
cerca de 120g |
cerca de 240g |
cerca de 120g |
cerca de 120g |
cerca de 240g |
Endereço
Nº 578 Yingkou Road, distrito de Yangpu, Xangai, China
Tel
