Sensor ultravioleta de frente de onda

Para a detecção de frente de onda de formatos de superfície de wafer plana na faixa de comprimento de onda de 200 nanômetros a 450 nanômetros, a BOJIONG introduziu o Sensor Ultravioleta de Frente de Onda. Utilizando tecnologia de autointerferência de caminho único, não requer feixe de referência. Nossos produtos e serviços são amplamente utilizados em áreas como fabricação óptica, aeroespacial, biomédica e pesquisa energética. Estamos continuamente expandindo nossa capacidade de produção, aprimorando nossas capacidades técnicas e estabelecendo uma estrutura operacional corporativa robusta.

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Descrição do produto

O Sensor Ultravioleta Wavefront, apresentando uma alta resolução de fase de 2NM RMS e resistência à vibração extremamente forte. Possui também resolução de 512×512 pixels (262.144 pontos de fase), capaz de realizar medições de interferência no plano focal traseiro. A tecnologia exige que a fonte de luz tenha baixa coerência e elimina a necessidade de mudança de fase. Com o sistema de imagem ultravioleta, o dispositivo é capaz de medir a frente de onda em tempo real.

Especificação do item:

Nome do Produto	Sensor ultravioleta de frente de onda
Faixa de comprimento de onda	200nm~450nm
Tamanho alvo	13,3 mm × 13,3 mm
Resolução espacial	26μm
Resolução de amostragem	512×512（262144 pixels）
Resolução de fase	<2nmRMS
Precisão absoluta	10nmRMS
Faixa dinâmica	90μm（256min）
Taxa de amostragem	32 fps
Velocidade de processamento em tempo real	10 Hz (resolução total)
Tipo de interface	USB3.0
Dimensão	70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm
Peso	cerca de 240g

Característica do sensor ultravioleta Wavefront BOJIONG

◆ Espectro UV banda de 200 nm ~ 450 nm

◆Resolução ultra-alta de 512×512 (262144) pontos de fase

◆Autointerferência de luz de canal único, sem necessidade de luz de referência

◆2nm RMS de alta resolução de fase

◆ Assim como a imagem, construção de caminho óptico fácil e rápida

◆ Suporta feixes colimados e feixes não colimados de alto NA

◆Desempenho antivibração extremamente forte, sem necessidade de isolamento óptico de vibração

Aplicação do sensor ultravioleta Wavefront BOJIONG

Este sensor ultravioleta de frente de onda BOJIONG é usado para medição de aberração de sistema óptico, calibração de sistema óptico, medição de formato de superfície plana (wafer), medição de formato de superfície óptica esférica, etc.

Detecção de frente de onda por feixe de laser

Resposta de detecção de frente de onda do modo Zernike de óptica adaptativa

Exemplo de medição de aberração de sistema óptico

Exemplos de medição de calibração de sistema óptico

Exemplo de medição de rugosidade superficial de wafer

Medição de morfologia de microgravação - amostra de defeito 1 # -114 linhas

Detalhes do sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG

Sensor ultravioleta wavefront BOJIONG desenvolvido por uma equipe de professores da Universidade de Zhejiang e da Universidade Tecnológica de Nanyang de Cingapura, com tecnologia patenteada nacional, combina difração e interferência para obter uma interferência de cisalhamento transversal comum de quatro ondas, com sensibilidade de detecção superior e desempenho antivibração , e pode realizar interferometria dinâmica em tempo real e de alta velocidade sem isolamento de vibração. A medição em tempo real mostra uma taxa de quadros superior a 10 quadros. Ao mesmo tempo, o sensor FIS4 tem uma resolução de fase ultra-alta de 512×512 (260.000 pontos de fase), a banda de medição cobre 200nm ~ 15μm, a sensibilidade de medição atinge 2nm e a repetibilidade da medição é melhor que 1/1000λ ( RMS). Ele pode ser usado para análise de qualidade de feixe de laser, detecção de campo de fluxo de plasma, medição em tempo real de distribuição de campo de fluxo de alta velocidade, avaliação de qualidade de imagem de sistema óptico, medição de perfil microscópico e imagem quantitativa de fase de células biológicas.

Parâmetros técnicos FIS4 de cada série de produtos

produtos	FIS4-UV	FIS4-RH	RELÓGIO FIS4	FIS4-HS	Célula FIS4	FIS4-NIR
Faixa de comprimento de onda	200~450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900 ~ 1200 nm
Tamanho alvo mm2	13,3×13,3	7,07×7,07	13,3×13,3	10,24×10,24	7,07×7,07	13,3×13,3
Resolução espacial	26μm	23,6μm	26μm	24,4μm	23,6μm	26μm
Pixel da imagem	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
Resolução de saída de fase	512×512 （262144 pixels）	300×300（90000 pixels）	512×512（262144 pixels）	420×420（176400 pixels）	300×300（90000 pixels）	512×512（262144 pixels）
Resolução de fase	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS
Precisão absoluta	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
Faixa dinâmica	90μm （256min）	110μm （150min）	162μm （256min）	132μm （210min）	110μm （150min）	270μm （256min）
Taxa de amostragem	32 fps	24 fps	45 fps	107 fps	24 fps	45 fps
Velocidade de processamento em tempo real	10 Hz (Resolução total)	10 Hz (Resolução total)	10 Hz (Resolução total)	10 Hz (Resolução total) Suporta processamento em lote atrasado	10 Hz (Resolução total)	10 Hz (Resolução total)
Tipo de interface	USB3.0	CORTAR	USB3.0	CORTAR	CORTAR	USB3.0
Interface externa	-	-	-	-	Porta C	-
Tamanho mm2	70x46,5x68,5	56,5x43x41,5	70x46,5x68,5	56,5x43x41,5	56,5x43x41,5	70x46,5x68,5
peso	cerca de 240g	cerca de 120g	cerca de 240g	cerca de 120g	cerca de 120g	cerca de 240g

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