No coração do sensor de frente para ondas UV do FIS4, fica a inovadora tecnologia de difração de quatro ondas de codificação randomizada de Bojiong. Essa tecnologia pioneira permite a interferência no plano focal traseiro, mesmo com a coerência mínima da fonte de luz, reduzindo significativamente as restrições na coerência da fonte de luz e eliminando efetivamente o requisito para a mudança de fase. Integrado a um sistema avançado de imagem ultravioleta, o sensor FIS4 UV Wavefront oferece recursos de medição em tempo real, exibindo excepcionais resistência e robustez de vibração. Impressionante, ele atinge a precisão em escala de nanômetros, mesmo sem sistemas de isolamento de vibração. Essa capacidade abre novas possibilidades para medições de alta precisão em ambientes diversos e exigentes. O Bojiong Optoelectronics deve revolucionar a medição e análise de desempenho óptico, orientando a indústria a uma era sem precedentes de precisão e eficiência. Ao definir novos benchmarks para precisão e facilidade operacional, o sensor de frente para ondas FIS4 UV capacita pesquisadores e indústrias a ultrapassar os limites da inovação óptica.
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Tipo de fonte de luz |
Laser contínuo ， pulso laser ， LED, lâmpada de halogênio e outras fontes de luz de banda larga |
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Faixa de comprimento de onda |
200nm ~ 400nm |
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Tamanho do alvo |
13,3 mm × 13,3 mm |
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Resolução espacial |
26 m m |
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Resolução de saída de fase |
512 × 512 |
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Precisão absoluta |
10nmrms |
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Resolução de fases |
≤ 2nmrms |
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Faixa dinâmica |
≥90μ m |
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Taxa de amostragem |
32fps |
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Velocidade de processamento em tempo real |
5Hz （em resolução total） |
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Tipo de interface |
USB3.0 |
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Dimensão |
70mm × 46,5mm × 68,5 mm |
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Peso |
cerca de 240g |
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Método de refrigeração |
nenhum |
◆ Espectro UV 200nm ~ 400nm Band
◆ 2nm RMS High Fase Resolution
◆ 100% desenvolvido no mercado interno
◆ Auto-interferência leve de caminhada, nenhuma luz de referência necessária
◆ Resistência a vibração extremamente forte, sem necessidade de isolamento de vibração óptica
◆ Com interferência a laser Design de supressão de franjas
◆ Suporta vigas colimadas, vigas altas de NA não colimadas
Este sensor de frente de onda UV de Bojiong Fis4 usada para medição de aberração do sistema óptico, calibração do sistema óptico, medição de forma de superfície plana (wafer), medição de forma de superfície esférica óptica, etc.
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Detecção de frente de onda de feixe a laser |
Resposta de detecção de frente de onda do modo de óptica adaptativa Zernike |
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Exemplo de medição de aberração do sistema óptico
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Exemplos de medição de calibração do sistema óptico
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Exemplo de medição de rugosidade da superfície de wafer
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Medição da morfologia de micro gravação - amostra de defeito 1 # -114 linhas |
O sensor Bojiong Fis4 UV Wavefront foi desenvolvido por uma equipe de professores da Universidade de Zhejiang e da Universidade Tecnológica de Nanyang, Cingapura. Possui uma resolução ultra-alta de 512 × 512 (262144) pontos de fase e pode obter medição de frente de alta precisão na banda de 200Nm a 400Nm. Pode ser usado para medição de aberração do sistema óptico, calibração do sistema óptico, medição da superfície do plano (wafer), medição de superfície esférica óptica, etc.
O FIS4 UV combina a tecnologia de difração de quatro ondas de codificação patenteada com a câmera UV e interfere na posição do plano da imagem traseira. Possui baixos requisitos para coerência da fonte de luz e não requer mudança de fase. Ele pode atingir a medição de frente para ondas em tempo real com o sistema de imagem UV. Possui resistência de vibração ultra-alta e estabilidade ultra-alta e pode obter medição de precisão no nível do NM sem isolamento de vibração.
Endereço
Nº 578 Yingkou Road, distrito de Yangpu, Xangai, China
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