Interferômetro Dinâmico Planar Vertical

O Interferômetro Dinâmico Planar Vertical, que pode ser usado em um ambiente de fábrica padrão, é capaz de medir com precisão o formato da superfície de elementos ópticos planares dentro de uma abertura de 100 mm. O feixe que transporta as informações de formato da superfície do elemento medido é difratado através de uma grade especialmente codificada, que corta a frente de onda lateralmente em quatro partes, formando um padrão de interferência bidimensional de cisalhamento de caminho comum com quatro frentes de onda. Ao demodular a interferência bidimensional, as informações sobre o formato da superfície do elemento podem ser obtidas.

Especificação do item:

Característica do interferômetro dinâmico planar vertical BOJIONG

◆Até 15 quadros de medição dinâmica em tempo real

◆ Resolução super alta de 262.144 pontos de fase

◆2nm RMS de alta resolução de fase

◆Com base no princípio da autointerferência do canal comum, o equipamento não precisa de um espelho de referência e tem uma forte capacidade de interferência de resistência, no ambiente comum de fábrica também pode obter detecção precisa de superfície plana

◆Pode realizar detecção dinâmica em tempo real, pode atingir detecção dinâmica de 15 quadros/segundo

◆Com direitos de propriedade intelectual independentes, ajuste simples e econômico, estrutura compacta

 Aplicação do interferômetro dinâmico planar vertical BOJIONG

Este interferômetro dinâmico planar vertical BOJIONG está equipado com sensores interferométricos de quatro ondas FIS4 para detectar o formato do espelho planar padrão, e o software de processamento gera o valor PV, o valor RMS e o valor de POTÊNCIA da superfície do componente testado.

Detalhes do interferômetro dinâmico planar vertical BOJIONG

Diagrama de layout geral do interferômetro dinâmico planar de quatro ondas BOJIONG

Os módulos funcionais do interferômetro dinâmico planar vertical BOJION G podem ser divididos em um módulo de fonte de luz de iluminação, um módulo de expansão de feixe secundário, um módulo transportador, um módulo de foco pontual para auxiliar no ajuste de atitude da amostra e um módulo de sensor interferométrico para formato da superfície da amostra detecção.

O módulo de fonte de luz do sistema adota um laser de gás hélio neon com comprimento de onda central de 632,8 nm.

O módulo de expansão do feixe secundário expande o tamanho do feixe para 100 mm, atendendo aos requisitos para detecção de grande diâmetro.

A seção do estágio é usada para colocar componentes ópticos planares a serem testados, como cristais planos, wafers de lançamento único, chips de janela, refletores planares, etc. O estágio de carregamento é equipado com volantes móveis nas direções X e Y para controlar o movimento da amostra estágio, de modo que o ponto de luz emitido pelo equipamento cubra completamente a superfície da amostra de teste. Ao mesmo tempo, dois botões também são instalados no palco para ajustar a postura de inclinação da amostra. Ao ajustar esses botões, o plano de teste fica perpendicular ao eixo óptico.

O sistema de imagem possui um sistema de câmera dupla. Um deles usa uma câmera de imagem óptica para formar um módulo de foco pontual para auxiliar no ajuste da postura da amostra. Ao observar a posição do ponto de retorno da amostra em tempo real, a postura da amostra é ajustada para garantir a precisão da medição. O outro caminho é equipado com sensor interferométrico de quatro ondas FIS4, formando um módulo sensor interferométrico para detecção do formato da superfície da amostra. Ao registrar franjas interferométricas de caminho comum, pode-se obter feedback em tempo real de informações tridimensionais na superfície da amostra de teste. O sistema de câmera dupla pode funcionar simultaneamente.

Módulo de software profissional

◆Equipado com o software "Interferômetro Dinâmico Planar Vertical", ele pode exibir e gerar imagens 3D em tempo real do plano do elemento óptico medido, gerar valores PV, valores RMS e valores de POTÊNCIA da superfície medida.

◆Ao mesmo tempo, o software suporta a exportação de dados brutos de resultados de medição, fornecendo suporte de dados de detecção quantitativa para vários estudos e facilitando aos usuários a realização de análises e pesquisas de dados no futuro.