Para grandes componentes de teste, como wafers de silício e wafers de safira, o detector de defeitos de superfície de componentes ópticos AOI1000 oferece uma resolução de detecção de até 0,5 micrômetros e uma abertura máxima de inspeção de 1000 mm por 600 mm. O dispositivo é capaz de gerar relatórios automaticamente, com formatos de relatório que incluem o Padrão Militar dos EUA MIL-PRF-13830A/B e o Padrão Internacional ISO 10110-7.
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Nome do Produto |
Detector de defeitos de superfície de componente óptico AOI1000 |
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Tamanho máximo de detecção |
1000mmX600mm |
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Resolução de detecção |
0,5μm |
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Método de detecção |
Imagens de varredura de matriz de campo escuro |
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Relatórios de saída |
Padrões nacionais, padrões militares dos EUA e relatórios empresariais personalizados. |
O detector de defeitos de superfície de componentes ópticos AOI1000 usa tecnologia de visão de máquina para obter detecção automatizada, de alta velocidade e alta precisão de defeitos de superfície em componentes como pastilhas de silício e pastilhas de safira, abordando efetivamente os problemas de baixa eficiência e baixa precisão na inspeção visual . A resolução de detecção mais alta pode atingir 0,5 micrômetros e a abertura máxima de detecção pode ser de 1000 mm por 600 mm. A tecnologia de imagem inclui iluminação anular e imagem de campo escuro com microdispersão. O dispositivo é capaz de gerar automaticamente relatórios em vários formatos, incluindo o Padrão Militar dos EUA MIL-PRF-13830A/B e o Padrão Internacional ISO 10110-7.
Adequado para controle de qualidade de defeitos superficiais em componentes ópticos, wafers de janela óptica, wafers de silício, wafers de safira, etc.
Defeitos de revestimento: delaminação, danos ao revestimento, etc.
Defeitos de polimento: arranhões, buracos, lascas, bolhas, sujeira, etc.
Este equipamento pode lidar com os seguintes tipos de defeitos:
◆ Iluminação anular multifeixe
◆ Imagens de ampliação variável com opções de ampliação alta e baixa
◆ Precisão de detecção de 0,5 μm
◆ Detecção de múltiplos wafers de placa inteira
◆ Motor linear para imagens rápidas
◆ Equipado com FFU (Unidade de Filtro de Ventilador) para garantir a limpeza interna
Iluminação de imagem anular multifeixe
Microscópio com zoom automático de 1X a 8X.
Fixação rápida ajustável para toda a placa.
Motores lineares 2D de alta precisão garantem a precisão do disparo rápido.
Saída de planilha padrão militar
Exibição do resultado do teste
Arranhão na superfície do revestimento.
Arranhões
Ponto de dano do laser 1
Ponto de dano do laser 2
Ponto particulado em nanoescala
Fibra
Deliquescência de componentes
dano à camada de membrana
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Detector de defeitos de superfície de componente óptico AOI450Detector de defeitos de superfície de componente óptico AOI1000 |
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Item |
Descrição |
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Modelo |
AOI1000 |
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Função do equipamento |
Detecção quantitativa de defeitos para componentes ópticos planares de superfície ultra-suave e saída de relatórios eletrônicos de acordo com os resultados de detecção, como Padrão Militar dos EUA, Padrão Nacional e Padrão Internacional. |
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Tamanho máximo de detecção |
1000mmX600mm |
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Precisão de detecção |
Baixa ampliação 5μm, alta ampliação 0,5μm |
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Método de fixação |
Fixação de placa inteira ou peça única, suportando fixação de peças quadradas e redondas. |
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Método de nivelamento |
Focagem automática assistida por material de placa inteira, nivelamento elétrico. |
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Método de imagem |
Iluminação anular, imagem de campo escuro com microdispersão, de acordo com o "Método de detecção quantitativa para defeitos superficiais de componentes ópticos - Método de imagem de campo escuro com microdispersão" descrito no padrão nacional GB/T 41805-2022. |
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Método de detecção |
Costura de digitalização de baixa ampliação, quantificação de posicionamento de alta ampliação. |
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Mecanismo de digitalização |
Motor linear 2D, curso 150 mm × 150 mm. |
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Parâmetros da câmera |
Câmera alvo grande, 5 milhões de pixels. |
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Formato do relatório |
Excel, formato Word, Padrão Militar dos EUA, Padrão Nacional, Padrão Internacional ou relatório estatístico empresarial. |
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Configuração de PC Industrial |
Processador i7, memória de 32 GB, disco rígido de 1T, memória de vídeo de 6 GB. |
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Dimensões do Equipamento |
900 mm × 800 mm × 2.000 mm (C × L × A) |
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Tensão da fonte de alimentação |
220 V ± 10% |
Endereço
Nº 578 Yingkou Road, distrito de Yangpu, Xangai, China
Tel
